淺析氦質譜檢漏儀的工作原理和用途
發布時間：2022-03-07 點擊次數：200次
氦質譜檢漏儀是用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦起反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
工作原理：
氦質譜檢漏儀主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子；分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同；在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙；打在收集器上；收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器。通過測量離子流就可知漏率，冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置。
用途：
氦質譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。目前，氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說它的應用領域是極其的廣泛。
