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      淺析氦質譜檢漏儀的工作原理和用途
      發布時間:2022-03-07   點擊次數:200次
             氦質譜檢漏儀是用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦起反應的工作狀態)的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
        
        工作原理:
        
        氦質譜檢漏儀主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子;分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上;收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器。通過測量離子流就可知漏率,冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置。
        
        用途:
        
        氦質譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。目前,氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業,甚至鄉鎮企業、個體企業,可以說它的應用領域是極其的廣泛。
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